Прошивка процессора 3ф модуль ева2

Добрый день, такая проблема надо зашить новый проц ева2 3ф остались проци только HD64F3664HV, я как понимаю в них нельза зашить софт 9.21.00? пробывал ошибка f12 HD64F3694HV нету... видел что есть софты micro 9.21.00 его можно зашить? или нужен проц HD64F3694HV? Если кто знает, как зашить HD64F3664HV под 3ф поделитесь пожайлуста софтом...